日前，北京化工大學(xué)等多家單位完成的“高端化學(xué)品及集成電路用電子化學(xué)品制造關(guān)鍵技術(shù)研究與應(yīng)用”項(xiàng)目，在北京通過(guò)了中國(guó)石油和化學(xué)工業(yè)聯(lián)合會(huì)(簡(jiǎn)稱“中國(guó)石化聯(lián)”)組織的科技成果鑒定。記者了解到，北京化工大學(xué)教授李群生帶領(lǐng)團(tuán)隊(duì)針對(duì)國(guó)家戰(zhàn)略需求，研發(fā)了高端化學(xué)品及集成電路用電子化學(xué)品制造關(guān)鍵技術(shù)，并成功實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用，成為科技創(chuàng)新和產(chǎn)業(yè)創(chuàng)新深度融合的典型案例。
據(jù)介紹，該項(xiàng)目在多個(gè)領(lǐng)域取得了一系列重大創(chuàng)新成果。根據(jù)鑒定意見(jiàn)，該項(xiàng)目建立了精餾塔內(nèi)氣液兩相流的數(shù)學(xué)模型，研發(fā)了IP型高效填料和導(dǎo)向復(fù)合塔板，填料分離效率提高了37.5%～50%，塔板分離效率達(dá)到75%～85%；發(fā)明了反應(yīng)除雜技術(shù)，利用紫外線光源將四氯化硅中極少量的三氯氫硅反應(yīng)為四氯化硅，產(chǎn)品純度達(dá)到99.9999999%(9N級(jí))；開(kāi)發(fā)了等離子反應(yīng)合成技術(shù)，實(shí)現(xiàn)乙硅烷的定向合成，得到99.99999%(7N級(jí))乙硅烷。
同時(shí)，該項(xiàng)目發(fā)明了精餾—連續(xù)多級(jí)逆流分布結(jié)晶技術(shù)，應(yīng)用于對(duì)二氯苯-鄰二氯苯等分離，產(chǎn)品純度≥99.999%；開(kāi)發(fā)了優(yōu)化結(jié)構(gòu)的雙載體吸附系統(tǒng)，與精餾及其他分離技術(shù)耦合，實(shí)現(xiàn)對(duì)雜質(zhì)的深度脫除，生產(chǎn)出99.999999%(8N級(jí))四氯硅烷；開(kāi)發(fā)了高效抗雜質(zhì)滲入技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了電子化學(xué)品生產(chǎn)設(shè)備的超潔凈防護(hù)。其中，電子級(jí)氫氟酸單個(gè)金屬離子雜質(zhì)含量降至5ppt以下，突破G5標(biāo)準(zhǔn)要求。
據(jù)了解，該項(xiàng)目不僅在科技創(chuàng)新方面屢獲突破，在產(chǎn)業(yè)化應(yīng)用領(lǐng)域也收獲累累碩果。項(xiàng)目成果已在多家企業(yè)獲得廣泛應(yīng)用，并生產(chǎn)出百余種產(chǎn)品，取得了顯著的經(jīng)濟(jì)效益、社會(huì)效益和環(huán)境效益。
